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羅茨真空機組是以羅茨泵為主泵，以水環泵為前級泵串聯而成的。選用水環泵作為前級泵比其它真空泵更為有利，它克服了單臺水環泵使用時極限壓力差（機組的極限壓力比水環泵有很大的提高），在一定壓力下抽氣速率低的缺點，同時保留了羅茨泵能迅速工作，有較大抽氣速率的優點。尤其能夠適應抽除大量的可凝性蒸汽，特別是當氣鎮油封機械真空泵排除可凝性蒸汽能力不夠，或使用的溶劑能使泵油惡化而影響性能，或者是真空系統不允許油污染的時候更為明顯。
